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题名:
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微纳加工中的精密工件台技术
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刘俊标,薛虹,顾文琪著
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ISBN:
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7-5639-1432-3
价格：
CNY45.00
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语种:
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chi
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载体形态:
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278页
26cm
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出版发行:
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出版地：
北京
出版社：
北京工业大学出版社
出版日期：
2004
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内容提要:
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本书内容包括绪论、精密测量技术、高速、高精度直线驱动技术、直线导向技术、精密工作台的结构型式等。
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主题词:
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超大规模集成电路
集成电路工艺
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中图分类法:
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TN470.598
版次：
4
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主要责任者:
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刘俊标
著
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主要责任者:
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薛虹
著
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主要责任者:
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顾文琪
著
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