题名:	微电子机械系统 / 姜岩峰编著 ,
ISBN:	7-5025-8158-8 价格： CNY28.00
语种:	chi
载体形态:	195页图 26cm
出版发行:	出版地：北京出版社：化学工业出版社出版日期： 2006
内容提要:	本书介绍了微电子机械系统(MEMS)相关的基础知识、主要工艺和器件结构等方面内容,对该领域的热点研究问题进行了探讨。
主题词:	微电子技术电子机械
主题词:	微电子技术
主题词:	电子机械
主题词:	机械系统
中图分类法:	TM38 版次： 4
主要责任者:	姜岩峰编著