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题名:
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薄膜材料与薄膜技术
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郑伟涛等编著
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ISBN:
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7-5025-4938-2
价格：
CNY38.00
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语种:
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chi
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载体形态:
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313页
23cm
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出版发行:
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出版地：
北京
出版社：
化学工业出版社
出版日期：
2004
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内容提要:
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本书阐述了薄膜材料与薄膜技术的基本理论和基本知识,重点介绍了薄膜材料的真空制备技术、薄膜的化学和物理沉积方法、薄膜的形成和生长原理、薄膜的表征等内容。
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主题词:
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薄膜制品
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主题词:
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薄膜技术
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中图分类法:
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TQ320.72
版次：
4
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中图分类法:
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TB43
版次：
4
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主要责任者:
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郑伟涛
编著
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