题名:
气相沉积应用技术
/ 王福贞,马文存编著 ,
ISBN:
7-111-20065-9 价格： CNY38.00
语种:
chi
载体形态:
411页 24cm
出版发行:
出版地： 北京 出版社：
机械工业出版社
出版日期： 2007
内容提要:
全书分气相沉积技术基础及各种气相沉积技术、气相沉积技术应用领域两篇共16章。
主题词:
气相沉积
基本知识
中图分类法:
TF111.34 版次： 4
主要责任者:
王福贞
编著
主要责任者:
马文存
编著