题名:
半导体制造系统调度
/ 吴启迪[等]著 ,
ISBN:
7-121-03191-4 价格： CNY35.00
语种:
chi
载体形态:
12,250页 26cm
出版发行:
出版地： 北京 出版社：
电子工业出版社
出版日期： 2006
内容提要:
本书以半导体制造系统调度为研究对象,在全面分析半导体制造系统调度特点的基础上,对半导体制造系统调度中存在的问题进行了详细的解剖、分析,并对各个问题的求解方法进行详细介绍。
主题词:
半导体工艺
系统
主题词:
半导体工艺
主题词:
系统
主题词:
调度
中图分类法:
TN305 版次： 4
主要责任者:
吴启迪
著