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题名:
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微电子机械系统力学性能及尺寸效应 / 刘凯,韩光平著 , |
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ISBN:
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978-7-111-25575-8 价格： CNY30.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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11,209页 图 21cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 机械工业出版社 出版日期： 2009 |
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内容提要:
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微电子机械系统(MEMS)是一门多学科的交叉技术。本书系统的阐述了微电子机械系统尺寸效应理论及其应用,较全面的反映了这一领域的研究现状。 |
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主题词:
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微电子学 机械系统 |
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主题词:
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微电子学 |
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主题词:
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机械系统 |
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主题词:
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力学 |
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中图分类法:
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TN4 版次： 4 |
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中图分类法:
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TH113 版次： 4 |
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主要责任者:
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刘凯 著 |
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主要责任者:
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韩光平 著 |