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题名:
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半导体集成电路制造技术 / 张亚非等编著 , |
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ISBN:
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7-04-018299-8 价格： CNY48.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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390页 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 高等教育出版社 出版日期： 2006 |
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内容提要:
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本书根据半导体集成电路的基本原理和内部结构以及版图设计,通过半导体材料制备、化学清洗、薄膜沉积、NP掺杂、光刻、金属化处理、生产整合与自动化等工艺整合,讲解集成电路的制造技术。 |
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主题词:
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半导体集成电路 集成电路工艺 |
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中图分类法:
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TN43 版次： 4 |
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主要责任者:
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张亚非 编著 |