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题名:
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微机电系统设计与加工 / (美)Mohamed Gad-el-Hak编 , 张海霞,赵小林译 |
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ISBN:
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978-7-111-28597-7 价格： CNY63.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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10,536页 图 27cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 机械工业出版社 出版日期： 2010 |
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内容提要:
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本书内容包括:MEMS中的材料、MEMS制造、LIGA及其微模压、基于X射线的加工、EFAB技术及其应用、用于碳化硅体微加工的等离子体反应深刻蚀、聚合物微系统:材料和加工、光诊断方法考察微流道的入口长度、应用于航空航天的微化学传感器等。 |
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主题词:
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微电子技术 |
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中图分类法:
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TN4 版次： 4 |
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主要责任者:
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贾德勒哈克 编 |
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次要责任者:
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张海霞 译 |