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题名:
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薄膜材料与薄膜技术 / 郑伟涛编著 , |
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ISBN:
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978-7-122-01314-9 价格： CNY38.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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249页 图 26cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 化学工业出版社 出版日期： 2008 |
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内容提要:
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本书阐述了薄膜材料与薄膜技术的基本原理和基本知识,介绍了薄膜材料的真空制备技术、薄膜的化学制备和物理气相沉积方法、薄膜的形成和生长原理、薄膜的表征,对目前研究和应用的几种主要薄膜材料进行了介绍、评述和展望。 |
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主题词:
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薄膜 工程材料 |
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主题词:
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薄膜技术 |
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中图分类法:
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TQ320.72 版次： 4 |
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中图分类法:
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TB43 版次： 4 |
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主要责任者:
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郑伟涛 编著 |
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版次:
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2版 |