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题名:
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半导体芯片制造系统建模与优化调度控制
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江志斌著
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ISBN:
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978-7-313-06315-1
价格：
CNY98.00
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语种:
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chi
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载体形态:
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398页
23cm
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出版发行:
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出版地：
上海
出版社：
上海交通大学出版社
出版日期：
2011
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内容提要:
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本书介绍了半导体新芯片制造系统建模与调度控制理论方法及若干关键技术,提出了一系列创新的建模与优化调度控制方法。
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主题词:
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芯片
生产工艺
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主题词:
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芯片
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主题词:
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生产工艺
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中图分类法:
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TN43
版次：
4
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主要责任者:
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江志斌
著
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附注:
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国家科学技术学术著作出版基金资助出版
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