|
题名:
|
微机电系统基础 / (美)Chang Liu著 , 黄庆安译 |
|
ISBN:
|
978-7-111-40657-0 价格： CNY69.00 |
|
语种:
|
chi |
|
载体形态:
|
13,397页 图 26cm |
|
出版发行:
|
出版地： 北京 出版社： 机械工业出版社 出版日期： 2013 |
|
内容提要:
|
本书全面论述了微机电系统(MEMS)的基础知识,涵盖了MEMS技术的主要方面,同是引用了经典的MEMS研究论文和前沿的研究论文,为学生深入学习MEMS技术提供了指引。书中提练了四个典型的传感器实例:惯性传感器、压力传感器、流量传感器和触觉传感器,并介绍了利用不同原理、材料和工艺制造这些传感器的方法。 |
|
主题词:
|
微电子技术 |
|
主题词:
|
微电子技术 |
|
中图分类法:
|
TN4 版次： 5 |
|
主要责任者:
|
刘昶 著 |
|
次要责任者:
|
黄庆安 译 |
|
附注:
|
国外电子电气经典教材系列 |