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责任者 严利人,周卫,刘道广
出版信息 清华大学出版社 ,2010
ISBN 978-7-302-20818-1
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微电子制造技术概论
严利人,周卫,刘道广.清华大学出版社,2010.
责任者 李薇薇,王胜利,刘玉岭
出版信息 化学工业出版社 ,2007
ISBN 978-7-5025-9520-3
微电子工艺基础
李薇薇,王胜利,刘玉岭.化学工业出版社,2007.
责任者 刘玉岭
出版信息 电子工业出版社 ,2004
ISBN 7-120-00021-7
微电子技术工程:材料、工艺与测试
刘玉岭.电子工业出版社,2004.
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