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责任者 佐藤淳一
出版信息 机械工业出版社 ,2022
ISBN 978-7-111-70234-4
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图解入门:半导体制造工艺基础精讲
佐藤淳一.机械工业出版社,2022.
责任者 赵志桓
出版信息 化学工业出版社 ,2020
ISBN 978-7-122-35328-3
面向人工智能的超小贴装器件可靠性设计
赵志桓.化学工业出版社,2020.
责任者 简维廷,郭位,张启华
出版信息 电子工业出版社 ,2016
ISBN 978-7-121-28246-1
半导体制造中的质量可靠性与创新
简维廷,郭位,张启华.电子工业出版社,2016.
责任者 Michael Quirk,Julian Serda
出版信息 电子工业出版社 ,2015
ISBN 978-7-121-26083-4
半导体制造技术
Michael Quirk,Julian Serda.电子工业出版社,2015.
责任者 吴启迪,李莉,乔非,于青云
出版信息 清华大学出版社 ,2015
ISBN 978-7-302-39118-0
半导体制造系统智能调度
吴启迪,李莉,乔非,于青云.清华大学出版社,2015.
责任者 黄建华,廖东进
出版信息 化学工业出版社 ,2013
ISBN 978-7-122-17693-6
硅片加工工艺
黄建华,廖东进.化学工业出版社,2013.
责任者 张渊
出版信息 机械工业出版社 ,2011
ISBN 978-7-111-31870-5
半导体制造工艺
张渊.机械工业出版社,2011.
责任者 梅
出版信息 机械工业出版社 ,2009
ISBN 978-7-111-25665-6
半导体制造与程控制基础
梅.机械工业出版社,2009.
责任者 奎克,塞尔达
出版信息 电子工业出版社 ,2009
ISBN 978-7-121-08944-2
奎克,塞尔达.电子工业出版社,2009.
责任者 吴启迪
出版信息 电子工业出版社 ,2006
ISBN 7-121-03191-4
半导体制造系统调度
吴启迪.电子工业出版社,2006.
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